Hệ thống kéo dài

Kéo giãn là một bước quan trọng trong việc hình thành các vi lỗ trên màng nền. Màng trong suốt trước tiên được kéo căng ở nhiệt độ thấp để tạo thành các khuyết tật vi mô, sau đó các khuyết tật này được kéo dài để tạo thành các lỗ vi mô ở nhiệt độ cao, sau đó tạo thành màng vi xốp có độ tinh thể cao bằng cách cài đặt nhiệt độ cao. Có hai lựa chọn là dây chuyền xử lý nhiệt trực tuyến và dây chuyền kéo dãn xử lý nhiệt ngoại tuyến.